表面性状测定采用尼康自主开发的方式——“FVWLI(Focus Variation with White Light Interferometry)法”。该方法可使对象材料的表面生成干涉纹,高精度决定各像素的焦点位置。通过使用这种方式,可在2.5倍(视野4.4×4.4mm)至100倍(视野111.0×110.0μm)的所有倍率下实现qy球友会算数平均高度(Sa)为0.1nm级别的表面性状评估。能够以单一模式测定超平滑表面到粗糙表面,无需更换光学滤光片等部件。另外,在测定膜厚时使用光谱干涉法。能以不到0.1秒的时间测定厚度为1nm~40μm的透明薄膜的厚度。