测量显微镜是光学计量仪器之一种，是指配有瞄准显微镜和坐标工作台的用于二维坐标尺寸测量的光学计量仪器。测量显微镜采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录象磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试，是一种多用途的小型精密测量仪器。

 

测量显微镜的安装使用：

 

1、使用环境检查：

 

应对周围环境的安全性进行检查，电源、电压、LED光源、接地线等是否正确、牢固，应符和要求。

 

2、主要部件运动性能检查：

 

测量显微镜工作台、纵、横滑板导轨、测微器、显微镜臂架导轨升降，测角度盘转动等部件，经目力观察和手动试验，必须确认结构安装可靠，位置准确，运转性能应舒适完好，无松动阻滞和急跳现象存在。

 

3、测角目镜的检查：

 

①测量显微镜测角目镜零位的检查;

②测量显微镜测角目镜十字线交点与其迥转中心重合性的检查。

 

测量显微镜的操作方法：

 

1、将被测试样放在测量工作台上，尽量放在玻璃中心位置。 

2、转动测量显微镜调焦手轮，至视线清晰为止，用目视判断Z薄点，旋转测量工作台并依靠纵横向的调节，把Z薄点方向原始基准调至与十字线相重合，记录测试标志线所对应的刻度值X1。 

3、调节横向手柄，测量工作台沿X线轴向移动，记录另一侧的读数X2，X1 与X2之差即为测量值。 

4、旋转测量工作台，依次测出各点读数。

5、测量直径时，可用移动X、Y轴方向分别读取数值。